측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치 및 형성방법
페이지 정보
name 0 Comments 386 Views -1-11-30 00:00 전자~전기본문
- 기술요약
-
본 발명은 시편의 미세패턴의 깊이 정보를 제공하는 프로파일을 형성하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 측정시편을 절단하지 않고 쉽게 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일을 형성할 수 있는 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치 및 형성방법을 개시한다.
일 실시예에 따른 측정시편의 미세패턴 내부 프로파일 형성장치에 관한 개략도