나노 압입 시험 기능을 가지는 AFM 캔틸레버
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name 0 Comments 164 Views -1-11-30 00:00 기계본문
- 기술요약
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본 발명은 나노 압입 시험 기능을 갖는 원자력 현미경(Atomic Force Microscope, AFM)의 캔틸레버에 관한 것으로서, 나노 압입 시험 시 수평 방향 운동의 보상과 압입 깊이 산출 등의 문제를 해결하여 정확한 물성 측정이 가능한 AFM 캔틸레버를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이러한 목적을 달성하기 위한 일 축 방향으로 압입 시험 기능을 갖는 본 발명의 AFM 캔틸레버는 고정 스테이지에 장착된 일단부와, AFM 팁이 장착된 타단부를 포함하고, 상기 일단부 및 타단부가 위치하는 상기 일 축을 포함하는 어느 한 평면에 대해 대칭인 중공 프레임을 포함한다.
종래의 AFM 캔틸레버에 의해 시편의 기계적 물성을 측정하기 위한 압입 시험을 설명하는 도면