멀티 스택 큐어 시스템 및 그 운전 방법 [Multi stack cure system and method of operating the same]
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 기술 정보
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기술분야
반도체
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현재 권리자
삼성전자 주식회사
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Main IPC
H01L 21/02
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존속기간 만료예정일
2032-04-30
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출원번호
(출원일)10-2012-0045695
(2012.04.30) -
등록번호
(등록일)10-1898677
(2018.09.07)
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기술분야
- 기술개발 목적
- - 본 발명은 봉지재를 형성하는 공정과 멀티스택 큐어 시스템 사이의 대기 시간이 길고, 경화 한 계 시간이 서로 다른 제품들이 혼재되는 문제를 해결하기 위해 창안된 것으로, 경화 한계 시간이 서로 다른 제품들을 하나의 챔버 내에서 경화시킬 수 있는 큐어 시스템의 운전 방법이 필요함
- 기술의 효과
- - 본 발명의 멀티 스택 큐어 시스템의 크기는 현저히 축소시킬 수 있어 공간 활용에 유리하고 스 택 큐어 시스템 사이의 대기 시간을 현저히 개선하여 양산효율을 극대화할 수 있는 효과가 있음
- 적용 산업분야
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반도체
*출처 : 첨단 헬로티
- 시장규모 및 전망
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반도체 시장은 2019년 2,269억 달러에서 연평균 7.6% 성장하여 2025년 3,389억 달러의 규모로 전망됨
*출처 : WSTS(2020.12), IC Insights 및 수출입은행