벤트홀이 형성된 마이크로 히터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 히터
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- KEYWORD
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벤트홀(vent-hole), 마이크로 히터, 캐비티(cavity), MEMS
- 기술개요
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마이크로히터의탑부분에상부벤트홀(top vent-hole)을형성하여멤브레인에작용하는 물리적스트레스를최소화하여구조적으로안정된벤트홀이형성된마이크로히터
- 주요 기술내용
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- 시장 및 기술동향
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- 멤브레인 시장 규모는 2019년에 55억 9000만 달러였으며 예측 기간 동안 CAGR
9.1글로벌%로 2027년까지 108억 1000만 달러에 이를 것으로 예상됨
- 글로벌 상위 4개 제조업체인 Dupont(Chemours), 3M, Gore, Solvay가 시장의 약 60%의
점유율을 보유함
- 마이크로 히터 제조 공정은 구동 회로인 CMOS 반도체 공정과 호환 가능하여 제조
공정수를 감소시킬 수 있게 되고 그 결과 제조비용이 절감됨
- 기술활용 분야
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✓ 센서 분야 - 온도감지, 습도감지, 유해가스 감지 등
온도,습도 감지센서
- 기술활용 분야
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✓ 인공지능 분야 - AI 기반 후각 시스템, 전자장비를 감지하는 센서 등
AI 전자 코
- 기술활용 분야
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✓ 마이크로 분야 - 미세먼지 측정 센서, 스마트폰 내장형 감지 센서 등
센서에 내장된 마이크로 히터
- 특장점
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- 높은안정성
- 구조적안정성을향상시킨마이크로 히터를제공
온도및압력이급격하게변하는환경 등에서도널리활용
- 스트레스최소화
- 상부벤트홀을전극이나금속요소에 형성함으로써, 멤브레인에작용하는 물리적인스트레스(파열) 최소화