진공증착에 의한 하이브리드 패턴 형성방법, 이를 이용한 센서 소자의 제조방법 및 이에 의해 제조된 센서 소자
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- KEYWORD
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나노구조체, 하이브리드 패턴, 임계반지름, 진공증착
- 기술개요
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금속나노구조체의최소임계반지름을만족하는진공증착조건을설정하여진공증착 공정을이용하여기재상부에금속나노구조체를형성하고이를통해하이브리드패턴을 형성하는방법, 이를이용한센서소자의제조방법및이에의해제조된센서소자
- 주요 기술내용
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• 종래기술의 문제점
나노입자는패턴의크기, 형태등에따라다양한특성을나타내고, 이를이용하기
위해서는각응용분야별로 패턴의제어가용이하여야 하고, 적절한위치에원하는
형태나크기로고른나노입자의 분포를가지면서패턴을형성하는 것이매우중요
• 본 기술의 해결방안
- 시장 및 기술동향
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- Emergen Research에따르면전세계나노기술시장규모는758억달러였으며, 2028년에는
2909억3천만달러에달하고, 2021년~2028년에는18.3%의연평균복합성장률(CAGR)을
기록할것으로예상됨
- 나노 기술의 고유한 특성은 에너지 원료, 온실가스 배출 및 유해 폐기물 최소화에 이르러
환경 및 기후를 보호하기 위한 다양한 제품, 방법 및 응용 분야에 사용될 수 있음
- 나노구조체부품 제조기술은 막대한부가가치의 나노제품시장을 창출할 수있으며 적은
비용으로 양산에 응용할 수있어 자동차, 소형가전, 디스플레이 등에 적극활용되고 있음
- 기술활용 분야
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✓ 나노구조체는 재료, 전기, 전자 분야 뿐만 아니라, 생명공학 등 다양한 분야에 활용
태양 전지
- 기술활용 분야
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✓ 반도체 분야 – 디스플레이, 센서, 레이저, LED, 커패시터, 태양전지 등
로봇
- 기술활용 분야
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✓ 미래산업 분야 –USN, 로봇, 지능형 자동차, 우주개발 분야 등
디스플레이
- 특장점
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- 적용분야다양화
- 전체적으로 균일한 금속나노구조체 분포를 가지면서 패턴의 형성이 용이함에 따라 이를 이용한 하이브리드 패턴의 형상이 다양하면서도 용이하게 형성 可
- 간단한공정
- 진공증착 조건을 설정함으로써 종래의 열처리 공정이 필요 없게 되어 공정시간을 단축시키고, 소자 재료의 확산, 섞임 등 문제를 방지