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진공증착에 의한 나노구조체 패턴 형성방법 및 이를 이용한 센서소자

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

진공증착에 의한 나노구조체 패턴 형성방법 및 이를 이용한 센서소자

보유기관 및 연구자 : 박형호

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: 나노구조체의균일한성장을위해기재표면을소수성표면처리하고, 나노구조체성장에 필요한최소임계반지름을만족하는진공증착조건을설정하여공정하는진공증착에의한 나노구조체패턴형성방법및이를이용한센서소자

주요 기술내용: • 종래기술의 문제점

종래의나노구조체 형성방법중하나인화학적인방법:
⇒ 대면적의 기판 상에 나노입자의 균일한 흡착이 용이하지 않으며,
나노입자의 크기 제어가 용이하지 않아 그 활용도가 떨어지는 단점이 있음

• 본 기술의 해결방안

시장 및 기술동향: - Emergen Research에따르면전세계나노기술시장규모는758억달러였으며, 2028년에는
2909억3천만달러에달하고, 2021년~2028년에는18.3%의연평균복합성장률(CAGR)을
기록할것으로예상됨
- 나노 기술의 고유한 특성은 에너지 원료, 온실가스 배출 및 유해 폐기물 최소화에 이르러
환경 및 기후를 보호하기 위한 다양한 제품, 방법 및 응용 분야에 사용될 수 있음
- 나노구조체부품 제조기술은 막대한부가가치의 나노제품시장을 창출할 수있으며 적은
비용으로 양산에 응용할 수있어 자동차, 소형가전, 디스플레이 등에 적극활용되고 있음

특장점

나노구조체형성용이: 진공증착 방식으로, 종래의 열처리 공정이 필요 없게 되어 고온에 취약한 고분자 기판과 같은 유연 기판 상에서의 나노구조체 패턴의 형성이 용이