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마이크로 히터를 구비한 센서 제조 방법

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

마이크로 히터를 구비한 센서 제조 방법

보유기관 및 연구자 : 박경호

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

주요 기술내용: • 종래기술의 문제점

고감도센서제작시감도향상및회복시간 조절등을위하여 센서소자의 온도조절
필요 ⇒ 질화갈륨계 박막이성장된기판의열용량이높아저소비전력 히터제작이
어렵고, 기판의부분제거 공정이쉽지않음

• 본 기술의 해결방안

시장 및 기술동향: - 전세계GaN반도체디바이스시장규모는2020년에1억2,567만달러를기록했으며, 2026년
까지3억3,546만달러규모에달할것으로예측되며, 예측기간에18.4%의연평균복합
성장률(CAGR)을 기록할것으로예측됨
- 전세계 센서 시장은2019년에는약1638억4000만달러 규모였지만, 2030년에는약4262억
달러 규모에이를 것으로 약2배이상 규모가 커질것으로 전망됨
- 센서가 인간과 기기의상호작용의 매개체로활용되면서, 기기의 첨단화∙스마트화가 가속되는
추세에 따라사용량이 급증할것으로 예상됨

기술활용 분야: ✓ 가스(수소),화학물질생체물질등의검출이요구되는산업분야
✓ 모바일/가전분야–모바일,웨어러블,스마트기기,스마트가전,IoT기기,등

스마트 TV

특장점

저소비전력: 낮은 소비전력을 갖는 마이크로 히터가 구비된 질화갈륨계 센서 제작을 위하여 질화갈륨 박막이 성장된 기판을 제거하고 마이크로 히터구조를 제작할 수 있음