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광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

광자극 구조를 구비한 질화갈륨계 센서 및 그 제조 방법

보유기관 및 연구자 : 박경호

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: 반응시간(감도)과회복시간을줄이기위해,HEMT 구조또는쇼트키(Schottky) 다이오드구조의 센서에LED 에피층을 포함한광자극구조를구비한질화갈륨계센서및그제조방법
✓ 반응시간 - 검지물질이 검출대상물질을 검출하는데 필요한 시간
✓ 회복시간 - 검출대상물질이 제거된 후 센서가 원래의 상태로 돌아오는 걸리는 시간

시장 및 기술동향: - 전 세계 반도체 센서 시장의 규모는 연평균 성장률 10% 이상으로 증가하여,
2023년에는 82억 3,000만 달러에 이를 것으로 전망됨
- 극한환경에서도 안정적인 물성을 가지는 화합물반도체 기반의 센서는 다양한 외부
환경에서 높은 신뢰성을 유지하여 경제적, 산업적 측면에서 큰 파급효과를 불러일으킬
것으로 예측됨
- 질화갈륨계 센서는 가스센서 뿐만 아니라 화학센서 및 바이오센서 등 센서 산업
전반에 걸쳐 다양한 응용분야에 적용 가능한 방향으로 관련기술 개발이 진행중임

특장점

단순한센서시스템: 종래기술은광자극을주기위해외부에서LED나 LD(Laser Diode)를사용하여센서시스템이복잡함
본기술은센서내부에LED 에피층을포함하여 센서시스템이단순함

광투과효율성高: 종래기술은LED 구조와센서구조사이에기판이 위치해빛이두꺼운기판을통과해야함
본기술은기판의한쪽면에LED와센서구조가 있어광투과효율성이높음