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테이퍼 형태의 경사벽을 갖는 비아 홀 제조 방법

페이지 정보

최고관리자  0 Comments  1 Views  20-11-10 15:46  기계

본문

분야 : 기타 개발상태 9
테이퍼 형태의 경사벽을 갖는 비아 홀 제조 방법
보유기관 및 연구자 : 최유라
  • 특허정보

    테이퍼 형태의 경사벽을 갖는 비아 홀 제조 방법 (No : 10-2019-0150033 )

  • 거래조건 :

기술완성도

  • TRL09

    사업화

    • 본격적인 양산 및 사업화 단계
  • TRL08

    시작품 인증/
    표준화

    • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
      - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
  • TRL07

    Pilot 단계 시작품
    신뢰성 평가

    • 시작품의 신뢰성 평가
    • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
  • TRL06

    Pilot 단계 시작품
    성능 평가

    • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
    • 시작품 성능평가
  • TRL05

    시제품 제작/
    성능평가

    • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
    • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
  • TRL04

    연구실 규모의
    부품/시스템 성능평가

    • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
    • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
  • TRL03

    연구실 규모의
    성능 검증

    • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
    • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
    • 모델링/설계기술 확보
  • TRL02

    실용 목적의 아이디어/
    특허 등 개념 정립

    • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
  • TRL01

    기초 이론/
    실험

    • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
KEYWORD
표면, TSV기술, 테이퍼 형태, 소형화, 고집적화
기술개요
형상왜곡이없는경사벽을가진비아홀을제공하여, 비아홀표면거칠기를개선하는테이퍼
형태의경사벽을갖는비아홀제조방법
✓ 비아 홀(Via Hole): 여러 층의 기판을 전도성 물질로 연결하는 통로의 개구부 구멍(hole)
✓ 테이퍼 형태: 끝으로 갈수록 폭이 점점 좁아지는 형태( )
주요 기술내용

시장 및 기술동향
- 3D TSV 및 2.5D 시장은 2021년부터 2026년까지 예측 기간동안 35.3%의 CAGR을
기록할 것으로 예상됨
- 현재 TSV형성 및 패키지와 관련하여 다양한 연구결과가 발표되었으며, 수율 향상,
테스트방법론 개발, 신뢰성 확보를 위해 산업계가 경쟁 중
- 반도체 패키징 세계시장은 연평균 4%이상의 지속적인 성장할 것으로 전망되고, 특히
패키징 분야에 대한 기술 변화가 예상됨
기술활용 분야
✓ 패키지 공정 PCB(반도체 패키지 기판)을 사용하는 모든 분야

Apple Watch

기술활용 분야
✓ 소형 반도체–웨어러블 기기, IoT기반 가전 제품, 헤드셋 등

자동차 전조등

기술활용 분야
✓ 메모리 장치-DRAM, NAND 플래시, 서버MPU

바이오 센서

특장점
원활한 후공정 수행 可
이후공정으로씨드층및전기도금이비아홀 측벽으로균일하게증착되어우수한스텝 커버리지(step coverage)모양을가짐
공정단순화및생산비용절감
비아홀의형상왜곡을방지하여추가식각 공정과같은추가공정불필요
우수기술 Gyeonggi Technology Market