탐침의 기울기 조절이 용이한 원자간력 현미경의 캔틸레버 제조방법 및 원자간력 현미경의 캔틸레버
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- KEYWORD
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탐침 조절, 현미경, AFM측정, 고해상도, 고품질
- 기술개요
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사용용도나목적에따라탐침끝의기울기를다르게 제작하는탐침의기울기조절이용이한 원자간력현미경의캔틸레버제조방법및원자간력현미경의캔틸레버
- 주요 기술내용
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- 시장 및 기술동향
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- 전 세계 AFM시장 규모는 2022년 3억5880만달러 규모로 추정되며, 예측시점인
2022~2028년에는 CAGR 2.8%로 2028년까지 4억2340만달러로 재조정될 것으로 예측됨
- 소형 트랜지스터 칩, 나노전자공학, 양자점 및 광전자공학에 대한 수요 증가로 인해
현미경에 대한 수요가 증가하고 있음
- 반도체 분야에서 AFM은 R&D, 품질 관리(QC), 공정개발 모니터링 및 고장 분석 등
설비개발 및 관리에 널리 활용됨
- 기술활용 분야
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✓ 분석 및 측정기기- LCD, 반도체 측정, 검사 공정, 연구용 장비 등
광학현미경
- 기술활용 분야
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✓ 첨단 현미경 - 투과전자현미경, 원자력현미경, 3차원 광학현미경 등
반도체 분석장치
- 기술활용 분야
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✓ 생∙의학 연구분야 – 면역학적 단세포, 생물체 시료, 생체 분자 검지 및 분석
세포 분석
- 특장점
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- 고해상도의정확한시료정보획득可
- 탐침의기울기가캔틸레버아암의선단부를 기준으로바깥으로기울어져형성되면 AFM측정시탐침의끝의위치를육안으로 확인할수있게되며탐침의각도가기존보다 작게형성이가능
- 탐침의기울기가 다른원자간력현미경용켄틸레버제공
- 별도의패턴을도입하여, 캔틸레버의두께조절및 탐침의기울기를조절함으로써캔틸레버의두께, 탐침의기울기및형태를다르게재작가능함.