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나노 스케일 박막 구조의 구현 방법

최고관리자　 0 Comments　 1 Views　 20-11-10 15:46　 기계

분야 : 기타 개발상태 9

나노 스케일 박막 구조의 구현 방법

보유기관 및 연구자 : 전동환

상담신청 기술문의

TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08
시작품 인증/
표준화
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
  - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
TRL05
시제품 제작/
성능평가
- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03
연구실 규모의
성능 검증
- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01
기초 이론/
실험
- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

기술개요: • 종래기술의 문제점

증착하고자 하는 박막의 두께가 격자 상수에 근접한 매우 얇은 두께인 경우,
실제 제작된 소자의 성능 ≠ 설계된 성능

• 본 기술의 해결방안

① 성능차이원인 : 실질적으로성장이불가능한두께로설계되어설계두께그대로재현되지않음
② 해결방안: InGaAs 및InAlAs 박막층을성장가능한최소단위두께의정수배로제한함
→설계된두께그대로실제소자를구현 (+ 공정시간조절을통한평탄한표면)

기술개요: 양자화된 두께로 타겟 구조를 설계하여, 물리적 두께에 민감한 고감도 고성능 전자/광/센서 소자 등에 응용될 수 있는 나노 스케일 박막 구조의 구현 방법

시장 및 기술동향: - 세계 박막 반도체 증착 시장 규모는 2020-2027년간 13.5%의 연평균 복합
성장률(CAGR)로 성장할 전망이며, 2027년에는 391억 달러에 달할 것으로 예측됨
- 얇은 두께의 박막 태양전지와 관련하여 LG 디스플레이, AUO 등의 세계 LCD
제조사들이 차세대 신규사업으로 박막 태양전지 사업에 잇따라 진출하고 있음
- 반도체 산업의 소형화로 인해 더 작고, 더 얇고, 더 가볍고, 또 용도에 따라서 휘어지는
부품이나 제품을 만들기 위한 시도가 계속해서 이루어지고 있음.

기술활용 분야: ✓ 물리적 두께에 민감한 고감도 고성능 전자/광/센서 소자
✓ IT/전자 분야 - 웨어러블 디바이스, 플렉서블 디스플레이, TFT(박막 트랜지스터) 등

LED, 레이저, 센서 등 광소자

기술활용 분야: ✓ 친환경 분야 - 박막 태양전지, 친환경 나노 박막 코팅 시스템 등
✓ 의 ·약학 분야 - 바이오 센서 등

디스플레이에 부착하는 박막형태의 내장형 안테나

특장점

실제 제작된 소자의 성능 = 설계된 성능: 박막층을 최소단위 두께의 정수배로 설계 → 실제 두께가 설계두께의 오차 범위(25%) 이내로 구현