[기초과학연구원] 단결정 금속포일 및 이의 제조방법
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최고관리자 0 Comments 1 Views 20-11-10 15:46 기계본문
- 분야 : 기타 개발상태 4 9
기술완성도
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TRL09
사업화
- 본격적인 양산 및 사업화 단계
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TRL08
시작품 인증/
표준화- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
- 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
- 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
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TRL07
Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가- 시작품의 신뢰성 평가
- 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
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TRL06
Pilot 단계 시작품
성능 평가- 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
- 시작품 성능평가
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TRL05
시제품 제작/
성능평가- 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
- 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
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TRL04
연구실 규모의
부품/시스템 성능평가- 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
- 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
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TRL03
연구실 규모의
성능 검증- 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
- 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
- 모델링/설계기술 확보
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TRL02
실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립- 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
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TRL01
기초 이론/
실험- 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
- 기술의 내용
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○ 고가 기판 대신 상업적으로 쉽게 구할 수 있는 다결정 금속박막을 이용함
○ 다결정 금속포일에 가해지는 응력을 최소화한 조건에서 열처리하여 대면적 단결정 금속포일을 제조함
○ 열처리 시 챔버와의 접촉을 최소화하여 전체적으로 균일한 응력이 가해지도록 함
○ 수평면(in-plain) 및 수직면(plane-normal) 양쪽에 각각 동일한 결정면을 갖는 고품질의 단결정 금속 포일 제작이 가능함
- 기술의 동향
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○ 그래핀은 현존하는 가장 얇고 강성 높은 소재로, 높은 전하 이동도, 열전도율 및 허용전류 밀도를 가짐
○ 현재 상용화를 위한 연구중으로, 잠재적 성장성에도 상업화 시점 및 적용 분야 범위에 따라 시장 성장 규모의 큰 편차가 예상됨
○ 현재의 높은 생산비용이 상업화의 걸림돌이 되고 있어, 고품질의 그래핀을 낮은 원가에 대량/대면적 생산을 가능하게 하는 기술에 대한 수요가 큼
- 제품화 및 시장 전망
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○ 대면적의 단결정 금속 박막은 그래핀 기판 외, 금속 나노 촉매, 전이금속 전극막, 수소 저장 매체, 고감도 화학 센서, 기타 기능성 소재 성장을 위한 기판 등에 적용함
○ 전 세계 반도체 장비 시장 규모는 2018년경 390억 달러로 예상됨
○ 세계 CVD 장비 시장의 2020년까지 연평균 성장률(CAGR)은 약 9%로 추정됨